- electron microlithography
- электронная микролитография
English-russian dictionary of physics. 2013.
electron microlithography
Смотреть что такое "electron microlithography" в других словарях:
Electron beam lithography — (often abbreviated as e beam lithography) is the practice of scanning a beam of electrons in a patterned fashion across a surface covered with a film (called the resist),cite book |last= McCord |first=M. A. |coauthors=M. J. Rooks |title=… … Wikipedia
Electron beam ion trap — (or its acronym EBIT) is used in physics to denote an electromagnetic bottle that produces and confines highly charged ions. It was invented by R. Marrs [Levine et al, 1988] and M. Levine at LLNL.An EBIT uses an electron beam focused by means of… … Wikipedia
Lithographie a faisceau d'electrons — Lithographie à faisceau d électrons L utilisation d un faisceau d électrons pour tracer des motifs sur une surface est connue sous le nom de lithographie par faisceau d électrons. On parle également de lithographie électronique. Par rapport à la… … Wikipédia en Français
Lithographie À Faisceau D'électrons — L utilisation d un faisceau d électrons pour tracer des motifs sur une surface est connue sous le nom de lithographie par faisceau d électrons. On parle également de lithographie électronique. Par rapport à la photolithographie, l avantage de… … Wikipédia en Français
Lithographie à faisceau d'électrons — L utilisation d un faisceau d électrons pour tracer des motifs sur une surface est connue sous le nom de lithographie par faisceau d électrons. On parle également de lithographie électronique. Par rapport à la photolithographie, l avantage de… … Wikipédia en Français
Lithography — Charles Marion Russell s The Custer Fight (1903). Note the range of tones, fading toward the edges … Wikipedia
Elektronenstrahllithografie — Die Elektronenstrahllithografie (ESL, englisch electron beam lithography oft als e beam lithography abgekürzt) ist in der Mikro und Halbleitertechnik ein spezielles Verfahren zur Strukturierung einer Elektronenstrahl empfindlichen Schicht… … Deutsch Wikipedia
Электронная литография — или электронно лучевая литография метод нанолитографии с использованием электронного пучка. Остросфокусированный электронный пучок, отклоняемый магнитной системой, прорисовывает нужные конфигурации на поверхности чувствительного к… … Википедия
Noble gas — Group 18 Period 1 2 He 2 … Wikipedia
Microelectromechanical systems — (MEMS) (also written as micro electro mechanical, MicroElectroMechanical or microelectronic and microelectromechanical systems) is the technology of very small mechanical devices driven by electricity; it merges at the nano scale into… … Wikipedia
Krypton fluoride laser — For background information about krypton and fluorine, the two active elements in a krypton fluoride laser, see Krypton and Fluorine. A krypton fluoride laser (KrF laser) utilizes the chemical property of krypton gas and the strong oxidizing… … Wikipedia
